檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="反應式濺鍍"
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本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極,以取代昂貴之白金(Pt)作為電極,並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy,製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…
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本實驗使用反應式離子束濺鍍法在矽(100) 基板上沉積氧化鋅掺雜鋁薄膜,利用改變基板溫度、鋁摻雜含量來觀察薄膜特性的改變,分別使用200℃、100℃及室溫來成長薄膜。200℃沉積之晶粒大小最大約為9…